一、流量傳感器

 

　　1、熱式傳感器

 

　　小流量氣體質量流量控制器通常采用基于熱傳導原理的傳感器，主要包括熱線式和熱膜式兩種類型。

 

　　熱線式傳感器通過加熱一根細金屬絲，并測量其溫度變化來確定氣體流量。由于氣體流動帶走熱量，導致金屬絲溫度下降，這種變化被轉換為電信號進行處理。熱膜式傳感器則是在基片上沉積一層薄金屬膜，工作原理類似熱線式傳感器，但具有更好的穩定性和響應速度。

 

　　2、高靈敏度與快速響應

 

　　這些傳感器具備高靈敏度，能夠檢測到微小的氣體流速變化，非常適合用于小流量控制場景。快速響應特性使得它們能夠在瞬息萬變的環境中迅速調整，確保流量控制的即時性和準確性。

 

　　二、控制閥

 

　　1、電磁比例閥

 

　　控制閥是實現流量調節的關鍵部件之一。常見的類型包括電磁比例閥，它通過改變線圈電流強度來控制閥門開度，從而調節氣體流量。電磁比例閥具有良好的線性度和重復性，能夠在較寬范圍內實現精細的流量控制。

 

　　2、壓電閥

 

　　壓電閥利用壓電材料的變形特性來驅動閥門動作。當施加電壓時，壓電元件產生形變，推動閥門開啟或關閉。具有高分辨率和響應速度，適用于對精度要求高的應用場合。

 

　　三、電子控制單元

 

　　1、信號處理與反饋控制

 

　　電子控制單元負責接收來自傳感器的信號，并根據設定值與實際測量值之間的差異，計算出所需的控制動作。它采用了閉環控制算法，確保即使在外界條件發生變化時，也能維持穩定的流量輸出。

 

　　2、多種通信接口

 

　　現代設備通常配備多種通信接口，如RS-485、模擬信號輸出等，方便與其他設備集成或進行遠程監控。這些接口支持雙向數據傳輸，便于實時監測和調整設備狀態。

 

　　四、溫度補償模塊

 

　　溫度補償模塊用于消除環境溫度波動對流量測量結果的影響。由于氣體的物理性質隨溫度變化而變化，未補償的系統可能會出現較大誤差。該模塊通過內置的溫度傳感器實時監測環境溫度，并自動調整測量結果，確保流量控制的準確性和一致性。